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RF-100-LD 100W小型手動匹配型射頻電源

簡要描述:100W小型手動匹配型射頻電源RF-100-LD頻率為13.56MHz,專門與本司1“的磁控濺射頭配用,可搭建成一套較廉價的濺射鍍膜系統,用于制作非導電薄膜。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2018-09-12
  • 訪  問  量:2928

詳細介紹

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產品型號

  100W小型手動匹配型射頻電源RF-100-LD

技術參數

  1、電源:AC 110V-240V 50Hz/60Hz

  2輸入功率:5W-100W(可調),穩定性±1%        

  3射頻頻率:13.56MHz,穩定性±0.005%

  4、匹配:手動匹配

  5、冷卻:風冷

  6、噪音:<50dB

產品規格

  尺寸:390mm×260mm×105mm

可選配件

  11"高真空磁控濺射頭,可自行搭建RFDC濺射鍍膜儀。

     

  2、同時購買100W射頻發射器和1"磁控濺射頭時,本司贈送1個高真空快速接頭。接頭內徑為0.75",可將濺射

    頭安裝在真空腔體上,真空腔體上的安裝孔直徑為1",真空腔體的壁厚不得大于1"

        

  3、循環水冷機,流量為16L/min,水箱容積為6L

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