GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀，特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜（如Ti、Al 、Au等）和小分子的有機(jī)物。本機(jī)設(shè)有4個(gè)蒸鍍加熱舟，每個(gè)加熱舟都可獨(dú)立進(jìn)行蒸鍍，加熱舟上方有一個(gè)可旋轉(zhuǎn)擋板，當(dāng)其中一個(gè)加熱舟進(jìn)行蒸鍍時(shí)擋板將其它三個(gè)鎢舟遮住，以防蒸鍍材料之間相互污染。若更改部分配置也可實(shí)現(xiàn)對有機(jī)材料的蒸發(fā)鍍膜，可滿足發(fā)光器件及有機(jī)太陽能電池方面的研究要求，是一款鍍膜效果理想且性價(jià)比較高的實(shí)驗(yàn)設(shè)備。蒸發(fā)鍍膜儀腔底部配有5個(gè)水冷電極，在工作過程中可有效保護(hù)電極溫度不會(huì)因溫度過高而熔化，進(jìn)而損壞電極。該機(jī)采用金屬腔室，具有*的真空度，真空度可達(dá)到5.0×10-7torr，樣品臺(tái)可對樣品進(jìn)行加熱，加熱溫度為室溫-500℃，是進(jìn)行高真空蒸發(fā)鍍膜的得力設(shè)備。1、真空控制單元全部集合在一個(gè)控制盒內(nèi)。
2、采用獨(dú)立的蒸鍍電流控制器，操作方便快捷。
3、真空腔體設(shè)有1個(gè)KF40旁抽閥（直接與前級機(jī)械泵相連，提高效率）、1個(gè)CF150閘板閥（直接與分子泵相連）、1個(gè)KF16法蘭（安裝電阻規(guī)）、6個(gè)CF35法蘭（1個(gè)安裝電離規(guī)，1個(gè)安裝2芯電極，1個(gè)安裝膜厚儀）3個(gè)備用。
4、在腔體底部配有5個(gè)水冷電極，可支持4個(gè)蒸鍍加熱舟。
5、樣品臺(tái)安裝在腔體的頂部。
6、腔內(nèi)可裝高分辨率的薄膜測厚儀，膜厚測量分辨率（鋁）為0.1Å。
7、可使用循環(huán)水冷機(jī)。