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PCE-6V小型等離子清洗機

簡要描述:產品簡介:PCE-6V小型等離子清洗機集成了RF等離子體發生技術、計算機控制技術、軟件編程技術,采用氣體作為清洗介質,有效地避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵,清洗腔內的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時間內*清洗掉有機污染物,清洗程度可達到分子級。樣品臺可選配加熱功能,可加負偏壓,用以實現對樣品的離子蝕刻。此外,其可在特定條件下

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2022-09-16
  • 訪  問  量:4792

詳細介紹

品牌其他品牌價格區間2萬-5萬
產地類別國產應用領域石油,地礦,能源,電子/電池,綜合

PCE-6V小型等離子清洗機集成了RF等離子體發生技術、計算機控制技術、軟件編程技術,采用氣體作為清洗介質,有效地避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵,清洗腔內的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時間內*清洗掉有機污染物,清洗程度可達到分子級。樣品臺可選配加熱功能,可加負偏壓,用以實現對樣品的離子蝕刻。此外,其可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。設備體積小,操作簡單,應用廣泛。1、采用氣體作為清洗介質,避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。
2、可短時間內*清洗掉有機污染物。
3、清洗程度可達到分子級。
4、可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。
5、清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性、相容性和浸潤性,并可消毒和殺菌。
6、樣品臺可選配加熱功能,可加負偏壓,用以實現離子蝕刻。
7、廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫學、微觀流體學等領域。

產品名稱      
PCE-6V小型等離子清洗機
產品型號      
PCE-6V
主要參數      
1、電壓:AC220V  10A
2、消耗功率:<500W(包括真空泵)
3、RF電源:輸出功率100W,輸出頻率13.56MHz
4、腔體:?190mm×98mm
5、石英管:?180mm×55mm,壁厚7mm
6、內腔:?165mm×55mm
7、清洗電極:?120mm
8、樣品臺:?150mm,有效尺寸?140mm
9、樣品臺與電極間距:15mm-50mm可調
10、抽氣管:?12mm
11、極限真空度:0.1Pa
12、工作真空度:60Pa-500Pa
13、氣路數量:2路(選裝)
14、流量控制器數量:1、2
15、流量顯示儀:2通道
16、氣路接口:?6mm
17、加熱樣品臺:?100mm,加熱樣品溫度200℃-500℃(選裝)
18、冷卻水壓力:0.2KPa-0.4KPa
19、工作環境:溫度5℃-35℃,濕度<80%(相對濕度)不結露,海拔高度0-2000m
產品規格

尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵)

重量:20kg(不含真空泵)

可選配件1、加熱樣品臺
2、流量控制器(量程10、50、100,可增加通道數≤2)



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